以下半導體無塵車間的相關的技術和使用管理辦法：

1.半導體無塵車間內部要確保粉塵隻出不進，因此潔淨車間室內要保持大於大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經香蕉视频软件設備的空氣源源不絕地打入潔淨車間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓係統使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。

3.所有經香蕉视频软件設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔淨車間室內空間設計或機台擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在潔淨車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

5.所有人或事物進出潔淨車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經過風淋室吹淋以將表麵粉塵先行除掉。

6.半導體無塵車間內水的使用隻限用去離子水。一則防止水中粉粒汙染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）汙染金氧半晶體管結構之帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導體工業之使用量極為驚人！

7.半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹幹晶圓及機台空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹幹晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。